Mesin fabrikasi semikonduktor yang sangat akurat adalah motor servo. Servo menawarkan gerakan teregulasi yang diperlukan untuk mengoperasikan wafer silikon, mengontrol peralatan proses, dan menjamin hasil yang sangat baik dalam industri yang mengutamakan akurasi tingkat nanometer, kecepatan luar biasa, dan kemampuan pengulangan yang sempurna. Mereka adalah teknologi mendasar yang memungkinkan Hukum Moore.
